潔凈車間也叫無塵車間、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

潔凈車間建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種，其中普遍采用裝配式。

裝配式潔凈車間系統(tǒng)主要由初，中，高三級空氣過濾的空調(diào)送風(fēng)回風(fēng)和 排風(fēng)系統(tǒng)；動力及照明系統(tǒng)；工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測報(bào)警消防和通訊系統(tǒng)；人流和物流系統(tǒng)；工藝管路系統(tǒng)；維護(hù)結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實(shí)施內(nèi)容組成，形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個(gè)設(shè)備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。

半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米計(jì)算，因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上，便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式，造成短路或斷路的嚴(yán)重后果。所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中，這就是半導(dǎo)體潔凈車間的來由。

半導(dǎo)體潔凈車間的相關(guān)的技術(shù)和使用管理辦法：
1.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn)，因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。
2.為保持恒溫與恒濕，大型空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，空調(diào)就得開多久。
3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，潔凈車間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃細(xì)菌等在潔凈車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會與時(shí)間減至最低程度。
4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。
5.所有人或事物進(jìn)出潔凈車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。
6.半導(dǎo)體潔凈車間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子（如鉀、鈉離子）污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑，在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人！
7.半導(dǎo)體潔凈車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺空壓所需要的，都得使用氮?dú)?。