出現卡料問題,需要檢查哪些呢?
1.軌道寬度。
2.框架翹起的情況。
3.料盒位置的擺放與質量問題。
晶圓盒是用于周轉存儲晶圓的載具。東虹鑫的12寸晶圓盒,采用獨特的卡槽導角設計,可以100%防止卡槽接觸到晶元。表面內槽光滑無毛刺,避免晶圓受損及因毛刺發生的卡料問題。采用優質6063鋁型材,陽極氧化處理,耐磨耐腐耐高溫,不變形起始位精確,減少因磨損與變形導致的鐵圈通料不流暢。起始位32.7mm、平整度≦0.05mm,重量6.3kg。
東虹鑫設計生產多款晶圓盒,適合不同機型的使用,耐磨耐高溫,不變形。尺寸精準,與設備運行相匹配,0卡料。與多家知名企業長期合作,獲得行業內的好評。同時為滿足客戶需求與實際情況,可非標定制不同規格材質的晶圓盒,48小時出貨,非標8天,客服24小時在線.